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zurück zur ÜbersichtOptische 3D-Messtechnik für Mikrolinsenarrays
Autoren:
Dr. Myun-Sik Kim, Leiter der Messtechnikabteilung von SUSS MicroOptics
Marcus Grigat, Vorstand Entwicklung und Produktion der NanoFocus AG
Claudia Delto, Produktkommunikation der NanoFocus AG
Veröffentlichung:
Mikroproduktion, Ausgabe 03-2013
Inhalt:
Die Leistungsfähigkeit von Mikrolinsenarrays hängt entscheidend von den optischen Eigenschaften ab, die durch die Formgenauigkeit der Linsen bestimmt werden. Um Defekte zu erkennen oder Entwicklungs- und Produktionsprozesse in der Mikrolinsenproduktion zu optimieren, ist die passende Messtechnik unerlässlich. Für die Qualitätssicherung und Produktionskontrolle nutzt Suss MicroOptics die Vorteile eines optischen 3D-Oberflächenmesssystems auf Basis eines Konfokalmikroskops aus der μsurf-Produktserie von NanoFocus.
