NanoFocus rüstet Fertigungslinien von Infineon nach

Infineon rüstet seine Fabriken in China und Malaysia mit NanoFocus-Systemen auf. Zusätzlich werden schon installierte Geräte mit der neuen Technologie des Oberhausener Unternehmens aufgewertet.

21.12.2005, Oberhausen – Die Systeme sind in die prozessnahe Qualitätssicherung integriert und tragen so zur konstant hohen Güte der Schaltkreise bei. „Wir sind in diesem Bereich anerkannt und etabliert. Deswegen hat sich Infineon bei der Umstellung seiner Werke in Asien für uns entschieden“, sagt Dr. Hans Hermann Schreier, Vorstandsvorsitzender von NanoFocus. „Ein weiteres Argument für uns ist der modulare Aufbau unserer Geräte. Die einzelnen Module lassen sich so kombinieren, dass der Kunde die Systeme ganz einfach und vor allem schnell in seine Fertigung integrieren kann.“

In der Halbleiter-Produktion vollzieht sich aktuell der Übergang vom Mikro- in den Nanometerbereich. Die beschleunigte Entwicklung immer kleinerer Strukturen verlangt auch nach neuen Wegen in der Qualitätssicherung und der Prozesskontrolle. „Wir sind stolz unsere Technik bereits vor Jahren darauf ausgerichtet zu haben, um jetzt vom Trend der Miniaturisierung unmittelbar profitieren und unseren Kunden die besten Lösungen liefern zu können“, so Schreier weiter.