SUSS MicroOptics nutzt 3D-Oberflächenmesstechnik von NanoFocus

Vollautomatisches Wafermapping von Mikrolinsenarrays

Dr. Reinhard Völkel, CEO von SUSS MicroOptics SA, setzt die Messtechnik von NanoFocus in der Qualitätssicherung und Produktionskontrolle ein.

Die Firma SUSS MicroOptics entwickelt und produziert hochwertige Mikrooptiken auf Waferbasis. Um Entwicklungs- und Produktionsprozesse zu optimieren, hat sich SUSS MicroOptics aufgrund der hohen Präzision und Automatisierungsmöglichkeiten für die optische 3D-Oberflächenmesstechnik  der NanoFocus AG entschieden.

SUSS MicroOptics stellt Mikrooptiken mit waferbasierten Herstellungsverfahren  her. Hierbei werden auf einem Wafersubstrat aus synthetischem Quarzglas oder Silizium tausende oder Millionen Mikrolinsen gefertigt. Mit der konfokalen 3D-Messtechnik von NanoFocus prüft SUSS MicroOptics Mikrolinsenarrays schnell, präzise und zerstörungsfrei zu verschiedenen Zeitpunkten des Herstellungs- und Bearbeitungsprozesses. 

„Der Nutzen  der NanoFocus-Messtechnik liegt für uns vor allem in der Möglichkeit eines vollständigen Wafermappings und automatisierbarer Messabläufe“,  sagt Dr. Reinhard Völkel, CEO von SUSS MicroOptics. „Dies ist mit anderen Messtechnologien nicht vergleichbar möglich.“ Durch die vollflächige Messung ganzer Mikrolinsenarrays wird ein dichtes Messgitter erreicht, das die Identifikation und Detektion defekter Mikrolinsen auf dem gesamten Wafer ermöglicht. Wafermap-Importe und die Nutzung von Datenbanken werden durch die NanoFocus-Software unterstützt.

Die Formpräzision der Linsenprofile, definiert durch den Krümmungsradius und die konische Konstante, eine hochgenaue Positionierung der Linsen auf jedem Array ebenso wie die Maßhaltigkeit der Wafer sind entscheidende Aspekte in der Herstellung. Diese sind maßgebend für Leistungsfähigkeit und die optischen Eigenschaften der Mikrolinsenarrays. Auf Grundlage der Messdaten definiert und optimiert SUSS MicroOptics die Produktionsparameter und stellt damit die höchste Qualität der produzierten Mikrolinsenarrays sicher.