Oberflächenmesstechnik – industrietauglich automatisiert

Control 2015: Intelligente Qualitätssicherung mit optischen 3D-Messsystemen von NanoFocus

Vollautomatisierte Waferinspektion mit µsprint-Technologie von NanoFocus.

In der industriellen Produktion geht weltweit der Trend zu verknüpften Prozessketten unter dem Stichwort Industrie 4.0. Gleichzeitig wird eine immer höhere Produktqualität gefordert. Damit gewinnt eine benutzerunabhängige und automatisierbare Messtechnik in der qualitätssichernden Prozessführung an Bedeutung. Neben klassischen 3D-Mikroskopsystemen bietet die NanoFocus AG inline-fähige Oberflächenmessgeräte mit vielseitigen Automationsmöglichkeiten, die sich flexibel in produktionsbezogene Regelkreise einbinden lassen.

Zuverlässige Messdaten liefern Ist-Werte über die Produktqualität, die für die Steuerung von Produktionsprozessen unerlässlich sind. Die vollautomatisierbaren konfokalen 3D-Oberflächenmesssysteme von NanoFocus können direkt in Fertigungsanlagen zur 100%-Kontrolle integriert oder zur Stichprobenkontrolle (Einzel- und Serienmessungen) fertigungsnah eingesetzt werden.

Komplexe Messstrategien und Auswertungen lassen sich mit der Automatisierungssoftware μsoft automation kundenspezifisch konfigurieren. Die Messdaten werden direkt in vordefinierte Ergebnisprotokolle überführt oder über zahlreiche Datenschnittstellen (z.B. SECS-GEM Interface) exportiert. Damit stehen sie für Soll-/Ist-Vergleiche zur Verfügung oder können für weitere Auswertungen an qs-STAT, Matlab, verschiedene Datenbanken oder SPC-Charts übergeben werden.

Bei Serienmessungen entfällt der Anwendereingriff durch zahlreiche Features wie Passmarkenerkennung, automatisiertes Alignment und Messbereichsnachführung vollständig. Die Unterstützung von Wafer-Map-Importen oder OCR/DDM/Bar Code Reading erfüllt gängige Industriestandards.

Für eine optimierte Dokumentation werden Messdaten und Auswertungen dauerhaft in einer datenbankbasierten Auswertebibliothek der NanoFocus-Software gespeichert und können damit zur statistischen Prozesskontrolle genutzt werden.

NanoFocus hat automatisierte Messanlagen bei namhaften Herstellern in verschiedenen Branchen erfolgreich in Betrieb genommen. Dazu zählen die vollautomatische Wafer-Inspektion in der Halbleiterfertigung, die Serienkontrolle künstlicher Kniegelenke und Zahnimplantate in der Medizintechnik und die Messung von Mikro-Schweißnähten und kritischen Oberflächen an Automobilteilen.´


Besuchen Sie uns auf der Control!
Halle 7, Stand 7318