Anwendungen – Optische Messtechnik

Solartechnik

Effizienz steigern und Qualität sichern

Die Anforderungen an Effizienz und Qualität von Solarzellen wachsen stetig. Von Forschung und Entwicklung bis hin zur eigentlichen Produktion wird daher eine kontinuierliche Prozessüberwachung immer wichtiger. Mit den optischen Messsystemen von NanoFocus lassen sich schnell und berührungslos präzise 3D-Oberflächenkennwerte im Mikro- und Nanometerbereich ermitteln, die eine zuverlässige Aussage über die Güte der Solarzelle ermöglichen. Dank höchster Flexibilität der Systeme sind unterschiedliche Arten von Solarzellen mit einer Technik abbildbar. Neben Standardlösungen bietet NanoFocus individuelle Kunden– und Branchenlösungen – von der Hard- bis hin zur Software auf die Applikation abgestimmt.

Anwendungsbeispiele

In der Solarindustrie sind heute flächendeckend optische 3D-Messsysteme von NanoFocus im Einsatz. Dies beginnt in Forschungs- und Entwicklungszentren sowie an Universitäten und Institutionen und endet letztendlich mit der Kontrolle des Produktionsprozesses. Um eine reibungslose Produktion von Anfang an zu gewährleisten, nutzen auch Zulieferer der Solarbranche, wie etwa Waferproduzenten sowie Hersteller von Waferschneid- und Laseranlagen, berührungslose Messverfahren von NanoFocus.

CIS

Für DIN-konforme Rauheitsmessungen auf CIS ist die µsurf-Technologie optimal geeignet. Die Detektierung von Defekten und Partikeln auf der Oberfläche erfolgt automatisiert.

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Drahtführungsrollen

Der Waferschneideprozess kann mittels Inspektion der Drahtführungsrollen überwacht werden. Vielfältige Parameter können dabei mit dem µsurf mobile, der mobilen Messlösung von NanoFocus, direkt im Prozess ermittelt und analysiert werden. So können Öffnungswinkel, Tiefe und Abstand (Pitch) der Rillen sowie deren Symmetrie und Radius sicher und schnell bestimmt werden. Auch die Geradheit der Flanken überprüft das µsurf mobile sicher.

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Isolationskanäle

Mit Hilfe der µsurf-Technologie können die mikrogeometrischen Parameter der Isolationskanäle zuverlässige ermittelt werden. Auch Materialabtrag und Aufwerfungen werden exakt bestimmt und analysiert.

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Kontaktfinger

Für die Qualitätssicherung an Solarzellen ist es unerlässlich, die Kontakte auf Höhe und Breite zu bestimmen, um den Druckprozess optimieren und kontrollieren zu können. Die µsurf-Technologie vermisst zuverlässig die Höhe und Gleichmäßigkeit von elektronischen Kontakten wie Fingern oder Busbaren. Die Analyse der Höhen und Breiten erfolgt automatisiert, sogar auf Anti-Reflex-Beschichtungen.

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Laserablation

Mit der µsurf-Technologie lassen sich die Daten des Materialabtrags exakt quantifizieren, so dass mit den gewonnen Werten der Laser feinjustiert und der gesamte Prozess optimiert werden kann.

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Laserscribes

Laserscribes vermisst die µsurf-Technologie mit Widerholgenauigkeiten im Nanometerbereich innerhalb von wenigen Sekunden. Mit den hochpräzisen 3D-Messgeräten lassen sich sowohl die Geometrie der Laserscribes vermessen als auch Informationen zur Optimierung des Materialabtrages ermitteln. Durch Materialerwärmungen können am Rand unerwünschte Verschmelzungen entstehen, die anhand der 3D-Daten entnommen, beziffert und korrigiert werden können.

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Pyramidenstrukturen

Mit dem µsurf solar bietet NanoFocus eine leistungsfähige Lösung für die Quantifizierung und Qualifizierung von Pyramidenstrukturen. Die zugehörige Software kann mit einer Messung viele Paramter ermitteln, etwa die Verteilung und Anzahl der Pyramiden und deren Winkel, Höhen und Homogenität.

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