Mikrogeometrie

Qualitätssicherung kleinster Strukturen

Die Miniaturisierung von Bauteilen und Produktkomponenten bedingt immer geringeren Fehlertoleranzen bei Entwicklung und Herstellung. Mit den berührungslos arbeitenden und hochauflösenden optischen Oberflächenmesssystemen von NanoFocus lassen sich neue Produkte und Fertigungsprozesse einfacher und schneller entwickeln. Dank automatisierter Protokollvorlagenbestimmen Sie Mikrogeometrien – Höhe, Abstand, Winkel und andere geometrische Parameter – innerhalb weniger Sekunden. Die Volumina von Poren, Mulden und Erhöhungen können mithilfe präziser Auswertealgorithmen reproduzierbar berechnet werden.

Die Messung der Mikrogeometrie ist mit den Messsystemen von NanoFocus nicht auf die Laborumgebung beschränkt. Die Maßhaltigkeit Ihrer Produkte prüfen Sie mit NanoFocus-Messtechnik in kürzester Zeit an beliebigen Stationen der Fertigung. Abweichungen werden automatisiert erkannt und Sie können sofort reagieren, um Ausschuss und Stillstand zu vermeiden. Durch die Überprüfung von mikrogeometrischen Parametern unterstützen Sie die NanoFocus-Messsysteme bei der Entwicklung neuer, kompakterer Komponenten und sichern so wichtige Wettbewerbsvorteile sowie Ihren eigenen Qualitätsstandard.  

Messung von Mikrogeometrie in der Forschung und Entwicklung

In Winkel- und Längenmessgeräten werden Noniusscheiben für hochpräzise Messungen eingesetzt. Dabei ist die Geometrie ihrer Strukturen entscheidend für die Messgenauigkeit. Zur Kontrolle und Optimierung des Herstellungsverfahrens wird die Noniusscheibe daher mit dem Profilometer μscan custom hochpräzise vermessen.

Messung von Mikrogeometrie in der Prozesskontrolle

Durchmesser und Tiefe von Mikrovias entscheiden über die einwandfreie Funktion von Multilayer-Leiterplatten noch vor der Vereinzelung. Zur Kontrolle dieser Abmessungen wird die μsurf-Technologie eingesetzt. Die hochpräzisen 3D-Mikroskope erlauben auch die Prüfung kleiner Vias unter 100 μm, bei einem 1:1 Verhältnis von Durchmesser zu Tiefe. Durch einen frühen Einsatz in der Prozesskette werden Ausschuss aussortiert und Folgekosten eingespart.

Messung von Mikrogeometrie in der Qualitätskontrolle

Abstand, Breite und Höhe von Leiterbahnen müssen genau eingehalten werden, um Kurzschlüsse und Defekte der Baugruppe zu verhindern. Mit der berührungslos arbeitenden μsurf-Technologie überprüfen Sie die Leiterbahnen flächenhaft. Mit der µsprint-Technologie können Ihre Mikrogeometrie-Messungen sogar inline erfolgen. So werden ohne Oberflächenbeeinflussung an kritischen Stellen minimale Abstände bestimmt und Fertigungsfehler erkannt.  

Auf einen Blick

• Geometrische Analyse
• Breite, Höhe
• Fläche, Volumen
• Winkel
• Partikelanalyse
• Motiv-Analyse
• Binarisierung