Produkte – 3D-Oberflächenmesstechnik

µsprint sensor

100%-Kontrolle mit dem schnellsten konfokalen Sensor

Die flexiblen und extrem schnellen Konfokalsensoren der µsprint-Reihe setzen mit bis zu mehr als 5 Millionen 3D-Messpunkten pro Sekunde neue Maßstäbe in Sachen Geschwindigkeit. In Kombination mit seiner hohen Präzision und einem großen Messfeld ist µsprint damit die inlinefähige All-in-One-Lösung für eine große Bandbreite von Messaufgaben.

Ob als Standalone-Lösung für das Labor, mit Umhausung für die industrielle Produktionsumgebung oder die Integration in bestehende Anlagen – die µsprint-Technologie lässt sich flexibel und leicht integrieren.

Der neue µsprint C3x: Noch schneller, noch präziser

Im Vergleich zum µsprint C3 Sensor erreicht der neue C3x Sensor mit 10 nm eine 10-fach höhere axiale Auflösung sowie eine laterale Auflösung bis 0,5 µm bis 2,5 µm. Dank des von der Zeiss AG exklusiv für die µsprint-Produktlinie von NanoFocus entwickelten hochaperturigen Objektivs, lassen sich auch Flankensteilheiten bis 53° messtechnisch erfassen. Dies bietet vor allem im Bereich der Bump-Inspektion große Vorteile in Bezug auf die Messdatenstabilität.

Dabei werden mit dem 256-Kanal-System mehr als 5 Mio. 3D-Messpunkte pro Sekunde verarbeitet. Für den Anwender bedeutet das eine Erhöhung seines bisherigen Outputs um bis zu 80% im Vergleich zum µsprint C3.

Anwendungsbeispiele

Besonders geeignet ist der Sensor für die 3D-Forminspektion, die Bumpinspektion auf Wafern und Substraten sowie für die Inspektion von Laserschweißungen.