Produkte – 3D-Oberflächenmesstechnik

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µsprint topographer

Highspeed-3D-Datenaufnahme bei hoher Präzision

Mit unerreicht schneller Scanrate erzeugt das kompakte 3D-Inspektionssystem µsprint topographer Topografiedaten von unterschiedlichsten Oberflächen mit hoher Präzision.

Dank seines konfokalen Sensors, des weltweit schnellsten seiner Art, können Oberflächen bis in den Mikrometerbereich vermessen werden. Damit ist der µsprint topographer das ideale Tool für die Qualitäts- und Prozesskontrolle, wo hohe Durchsätze erreicht und präzise Messungen gefordert sind.

Hochpräzise Datenaufnahme

Der µsprint topographer ist ein Standalone 3D-Messsytem. Die hochpräzise Datenaufnahme ist durch einen stabilen Grundaufbau des Systems sichergestellt, welcher einen x,y-Tisch und den 3D-Sensor aufnimmt.

Die µsprint-Software bietet eine Vielzahl an Möglichkeiten für das Scannen und Auswerten.  

Anwendungsbeispiele

Die µsprint-Technologie erzielt zuverlässige Messergebnisse sowohl auf stark reflektierenden oder extrem lichtabsorbierenden und rauen Oberflächen.

Der µsprint topographer wird weltweit zur Qualitätssicherung bei hohen Durchsatzraten eingesetzt, etwa in der Automobilindustrie, Medizintechnik, Mikroelektronik oder im Halbleiterbereich. Sein Anwendungsgebiet ist vielfältig: zur 3D-Oberflächeninspektion und 3D-Forminspektion oder für spezielle Anwendungen wie die Bump- und Substrat-Inspektion oder die Inspektion von Laserschweißnähten.

3D-Messung von Micro Bumps

Bump Inspection

Mit hoher Auflösung und Dynamik ermittelt der µsprint sensor exakte Höhen und Durchmesser, Koplanarität und andere Parameter. Details zur Anwendung

Auf einen Blick

  • Schnellster konfokaler Sensor
  • Kompakte 3D-Messlösung
  • Hohe Präzision
  • Unabhängig von Oberflächeneigenschaften
  • Hohe numerische Apertur
  • Einfache Bedienung

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Ansprechpartner
Kai-Uwe Fastje
Telefon:  +49 208 62000-0
Fax:  +49 208 62000-99

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