Technologie – optische Messtechnik

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Laser-Scanning-Mikroskopie

Vergleich der konfokalen Multi-Pinhole-Technologie mit der Laser-Scanning-Mikroskopie

Sowohl die Laser-Scanning-Mikroskopie als auch die von NanoFocus entwickelte Multi-Pinhole-Technologie sind konfokale Verfahren. Bei einem Laser-Scanning-Mikroskop (CLSM) rastert ein fokussierter Laserstrahl punkt- oder linienweise mit Hilfe von Scan-Spiegeln die Oberfläche eines Objekts. Die Konfokaltechnik von NanoFocus bietet dem gegenüber viele Vorteile, vor allem hinsichtlich der Messgeschwindigkeit sowie der Datenstabilität und -aussagekraft.

Messgeschwindigkeit

Die zeilenweise Abtastung der Objektoberfläche in Kombination mit einem beweglichen Spiegelsystem macht die Laser-Scanning-Mikroskopie deutlich langsamer als die µsurf-Technologie von NanoFocus, die auf dem Prinzip einer rotierenden Multi-Pinhole-Disc basiert. Durch die gleichzeitige Abtastung mehrerer 100 Punkte ermöglicht das µsurf-Messprinzip so höchste Messgeschwindigkeiten. Eine Messung inklusive Auswertung ist in wenigen Sekunden abgeschlossen. Das ist besonders im produktionsnahen Einsatz von großem Vorteil.

Stabilität der Messdaten

Messungen mit Laser-Scanning-Systemen haben prinzipbedingt immer eine Abtastrichtung. An Kanten führt dies oft zu Artefakten. Beim Spinning-Disc-Verfahren von NanoFocus sind die Pinholes auf der Blende stochastisch angeordnet, so dass nebeneinanderliegende Punkte nie direkt nacheinander belichtet werden. Dies reduziert die Artefaktbildung deutlich und macht die gewonnenen Messdaten sehr rauscharm und stabil. Die hohe optische Güte des Scan-Mechanismus (Glasplatte mit Pinholes) und der streng konfokale, doppelt konjugierte Aufbau des Strahlengangs liefern auch bei optisch anspruchsvollen Proben höchste Genauigkeit.

Kosten

Die Laser-Scanning-Mikroskopie ist im Vergleich zu den konfokalen Technologien von NanoFocus ein relativ kostenintensives Verfahren. Gerade bei Laser-Scanning-Systemen, bei denen galvanometrische Spiegel nachgeführt werden, sind die Betriebs- und Servicekosten im Vergleich viel höher. NanoFocus setzt für seine optischen 3D-Messsysteme extrem langlebige und wartungsarme sowie energiesparende Komponenten ein. Ein Beispiel hierfür ist die Hochleistungs-LED-Lichtquelle zur Beleuchtung.

Bedienung

Bei der Inbetriebnahme eines Laser-Scanning-Mikroskops ist eine zeitaufwändige, umfassende Einschulung in die Benutzung des Gerätes erforderlich. Die NanoFocus-Messsysteme ermöglichen es sogar Messtechnikeinsteigern, bereits nach einer kurzen Einführung aussagekräftige Messergebnisse zu erzielen. Mit ihrer ergonomischen Benutzeroberfläche sorgen die NanoFocus-Softwareprodukte für eine intuitive Benutzerführung und optimale Resultate.

NanoFocus-Vorteile auf einen Blick

  • höhere Messgeschwindigkeit
  • stabile Messdaten ohne Artefakte
  • geringere Kosten
  • intuitive und einfache Bedienung

Erfahren Sie mehr über die NanoFocus-Technologien

µsurf – flächenhaft konfokale Mikroskopie

µscan – optische 2D- und 3D-Profilometrie

µsprint – konfokale Mikroskopie in Inline-Geschwindigkeit


Kontakt
NanoFocus AG
Telefon:  +49 208 62000-0
Fax:  +49 208 62000-99

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