»Halbleiterproduzenten können mit unseren Systemen Produktionsfehler schneller und eindeutiger erkennen.

Und weniger Defekte bedeuten höheren Ausstoß und damit höhere Rentabilität.«

Martin Kunz

Corporate Representative Asia

Leistung und Kompetenz entscheiden

In der Zusammenarbeit mit der Halbleiterindustrie zählt im Kundenkontakt vor allem ingenieurtechnische Kompetenz. Komplexe automatisierte Messsysteme, die produktionsnah beispielsweise zur Qualitätskontrolle von Wafern eingesetzt werden, müssen zunächst zahlreiche Testreihen erfolgreich absolvieren. Nicht selten nehmen sich die Hersteller viele Monate Zeit, bevor sie sich für eine Lösung entscheiden, die ihren Ansprüchen genügt. Gerade die Waferinspektion ist ein Schlüsselprozess in der Produktionskette, der über Qualität und Effizienz der gesamten Produktion entscheidend mitbestimmt. Es geht um hohe Stückzahlen und eine gleichbleibende Messgenauigkeit. Deshalb sind es letztlich die langjährige Erfahrung unserer Expertenteams sowie technische Leistungsfähigkeit, die bei unseren Kunden im Halbleiterbereich den Ausschlag für einen Einsatz der NanoFocus-Messsysteme geben.

Technologischer Vorsprung

Bei der automatisierten Messung hoher Stückzahlen, wie z. B. bei der Waferkontrolle, kommt vor allem die NanoFocus-µsprint-Technologie zum Einsatz, die auf dem schnellsten Konfokalsensor der Welt basiert. Verglichen mit einer herkömmlichen optischen Inspektion durch Bildverarbeitungsverfahren (AOI) erreichen die NanoFocus-Vollautomaten eine deutlich höhere Präzision und wesentlich genauere und verlässlichere Messdaten. Dadurch dass die Konfokaltechnologie der NanoFocus-Systeme nur gering von den Oberflächeneigenschaften abhängig ist, können wir den Unternehmen auch bei der schnellen Messung großer Stückzahlen eine erheblich bessere Datenqualität zur Verfügung stellen. Die Messdaten, die NanoFocus-

Systeme dabei liefern, ermöglichen eine direkte Einflussnahme auf die folgenden Produktionsschritte.

Enge Fertigungstoleranzen

Die Unternehmen können eine Produktion mit geringeren Fertigungstoleranzen verwirklichen. Die Fertigungstoleranz beschreibt jenen Bereich, in welchem die negativen Auswirkungen störender Defekte auf die weiteren Produktionsschritte akzeptiert werden müssen. Eine geringere Fertigungstoleranz bedeutet weniger Ausschuss und eine größere Produktionsqualität. Vor allem bei sehr kleinen Strukturen in Größenordnungen von bis zu 10 Mikrometern versagen herkömmliche AOI-Systeme. Hingegen lassen sich Prozessabweichungen mit NanoFocus-Technologie noch präzise bestimmen. Durch ihren messtechnischen Vorsprung besetzt die NanoFocus AG hier deshalb eine wichtige Nische mit einem großen Wachstumstrend.

Know-how-Gewinn auf beiden Seiten

Der Zugewinn an Wissen und Anwendungs-Know-how nutzt beiden Seiten. Auf Grundlage unserer langjährigen vertrauensvollen Zusammenarbeit mit Technologieführern der Halbleiterbranche können wir unsere Produktpalette genau auf die spezifischen Marktbedürfnisse hin ent­wickeln. Die NanoFocus AG profitiert darüber hinaus von einem fortlaufenden Know-how-Gewinn durch Anwendungserfahrungen beim Kunden und durch den gemeinsamen Aufbau einer spezialisierten und technologisch anspruchsvollen Technologieplattform.

Der mobile Wachstumstrend

Der wichtigste Wachstumstreiber für den Einsatz solcher Technologieplattformen ist der Siegeszug der „mobile devices“. Mobile Elektronik erobert sämtliche Bereiche des täglichen Lebens, von der Smart Watch bis zum Handheld. Die Elektronik der Zukunft wird mobiler und kompakter, bei einer gleichzeitigen Zunahme der Leistungsfähigkeit und einer Steigerung der Energieeffizienz. Die Mess- und Analysesysteme der NanoFocus AG helfen, diesen steigenden Anforderungen zu entsprechen, und das bei gleichbleibenden oder sogar reduzierten Produktionskosten.