Informationen und Unterhaltung sind nur noch einen Fingertipp von uns entfernt. Leistungsfähige Elektronik verbindet Kommunikation, Wissen und kreative Möglichkeiten auf kleinstem Raum. NanoFocus liefert technologisch führende 3D-Messtechnik für die digitale Miniaturisierung.

Mikroelektronik ist zum Bestandteil unseres Lebensstils geworden und hat alle Bereiche des Alltags erobert. Smartphones, Tablets und eine Vielfalt mobiler Endgeräte lassen Hochleistung und Geschwindigkeit selbstverständlich erscheinen. Doch Fertigungsverfahren und Qualitätssicherung müssen mit der zunehmenden Leistungsdichte der Geräte Schritt halten. Die Messmittel der NanoFocus AG bieten Unternehmen die Möglichkeit, Fehler frühzeitig zu bemerken und dadurch Produktionskosten zu senken.

Leistungsintegration durch Packaging

Die Miniaturisierung in der Halbleiter­industrie wird unter anderem durch Wafer Level Packaging erreicht, bei dem einzelne Bauelemente in Schichten übereinander­gelegt werden. Die Qualitätssicherung dieser dreidimensionalen Planartechnologie erfordert eine optische 3D-Mikromesstechnik, die in kleinsten Dimensionen exakte digitale Daten liefert.

Bei diesen Messaufgaben ist die µsprint-Technologie der NanoFocus AG technologisch führend. Der verwendete Konfokalsensor ist der schnellste der Welt und ermöglicht auch hohe Stückzahlen in einer produktionsnahen 100%-Kontrolle.

Mikrooptiken und MEMS

Gerade in Smartphones werden viele Funktionselemente integriert, bei deren Produktionskontrolle unsere 3D-Mess­systeme zum Einsatz kommen. Miniaturisierte Akustikbauteile und Fingerprintsensoren beinhalten in vielen Fällen mikroelektronische mechanische Systeme (MEMS): hochempfindliche dreidimensionale Strukturen mit Abmessungen von nur einigen Mikrometern.

Eine wichtige Anwendung ist die Überprüfung von Mikrooptiken für den Einsatz in der optischen Kommunikation, Kameratechnik und Sensorik. Diese Optiken mit Dimensionen bis unter 10 µm werden als Mikrolinsenarrays direkt auf einem Wafer produziert. Für die anspruchsvollen Messungen von Struktur und Form dieser Optiken werden erfolgreich NanoFocus-Systeme eingesetzt.

Qualitätssicherung für Antennenelemente

Antennen und Signalverstärker für Smartphones werden heute in großen Stückzahlen hergestellt. In Zusammenarbeit mit der Halbleiterindustrie entwickelte die NanoFocus AG den hp-opc 3000. Das vollautomatische Messsystem kann die dreidimensionalen Parameter dieser Bauelemente in hoher Geschwindigkeit erfassen. Automatisierung, Präzision, Geschwindigkeit und Reproduzierbarkeit sind hierbei die entscheidenden Vorteile. Die optische 3D- Messtechnik unserer Systeme liefert verlässliche und stabile Messdaten für eine industrielle Qualitäts­sicherung im wachsenden Bereich der Consumer Electronics.